特殊氣體，簡稱特氣，具有以下分類及注意事項

（1）易燃性氣體 
把自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒，當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時，PH3與B2 H6等氣體也會產(chǎn)生自燃。可燃易燃?xì)怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高，如B 2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬于易燃?xì)怏w有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

（2）毒性氣體（Toxic Gas）：半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性最大，它們的閾限值TLV（Threshold Limited Valve）分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。 

（3）腐蝕性氣體（Corrosive Gas）：這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。 

（4）惰性氣體(Inert Gas)： 隋性氣體本身一般不會直接對人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過程中，相對于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發(fā)生泄漏會使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

（5）氧化性氣體（Oxide Gas）：這類氣體有較強(qiáng)的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。

不銹鋼制管件是用來傳輸各種制程氣體的主要管件，尤其是傳輸一些劇毒易燃易爆的危險性氣體。所以不銹鋼制管件的制作和施工要求在以上幾種不同材質(zhì)的管件中最為嚴(yán)格，一般對于P級要求（×10 -9級）制程氣體的輸送，均要求采用SUS316材質(zhì)的EP (Electronic Polishing)管材，對于一般非制程氣體的輸送采用SUS316材質(zhì)的BA （Bright Anneal）管材。SUS316作為一種低含碳量的不銹鋼材料，它不僅具有抗腐蝕性好的優(yōu)點，而且對凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是經(jīng)過了溶解、壓延（Hot/Cold Rolling）、溶接(Welding)、熱處理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等復(fù)雜過程，其表面粗糙度 Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等過程外，再加以電解研磨及精密洗凈技術(shù)，其Rmax≦0.7mm[3] 。

氣體管件在安裝時，施工原則是應(yīng)盡可能地以連續(xù)式且無接口的方式進(jìn)行，這樣可以減少使用接頭的數(shù)量，降低潛在的氣體泄漏風(fēng)險。管件與管件間的連接最好以軌道式焊接法（Orbital Welding）來接合，對于不銹鋼的焊接要采用氬弧焊，并向施焊管內(nèi)通入同等純度的氬氣，這樣可以確保連接的品質(zhì)，并防止管件內(nèi)壁因不當(dāng)?shù)暮附佣练e碳，從而造成氣體管件的污染。管件與各種配件之間的連接必須以金屬面對金屬面密封（Metal to metal face seal）的方式進(jìn)行。一般晶圓廠比較常用的氣體管路連接的接頭方式有VCR 和Swagelok兩種，具體選用形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對高純度氣體的用氣要求和氣體本身特性進(jìn)行選擇。一般情況下，VCR式的接頭主要用在制程氣體以及危險氣體的傳輸上，管路連接后接頭里面的墊圈（Gasket）將會適度變形以確保管路每秒低于10 -9cc的氦氣泄漏率（Leakage Rate）[4]。不過在接合時要避免因拴得太緊而導(dǎo)致不銹鋼墊圈過度變形造成接合不良或氣體外泄。Swagelok 接頭通常用在惰性氣體、氮氣以及CDA等氣體的傳輸上，因為這些氣體可以容許一定的外泄率，所以不常用成本較高且須焊接的VCR式接頭。總的來說，管件的安裝原則是應(yīng)盡可能減少管件的長度、接頭和閥件的數(shù)量，因為大多數(shù)的危險氣體的泄漏都發(fā)生在施工不當(dāng)?shù)慕宇^和閥件接合處。氯化氫