氯化氫氣體的干燥方法，包括將含有水分的氯化氫氣體從干燥噴淋塔的底部沿其內腔上行，在干燥噴淋塔的內腔噴灑四氯化硅，對氯化氫氣體進行噴淋處理，經噴淋處理后的氯化氫氣體以及與氯化氫氣體混合的四氯化硅從干燥噴淋塔的頂部進入冷凝器，進行冷凝處理，干燥后的氯化氫氣體從冷凝器排出，四氯化硅遇水分分解，生成氯化氫氣體和二氧化硅，用四氯化硅對HCL進行干燥，產生的HCL可以重新利用，將氯化氫氣體的含水量降到50ppm以下，提高了硅粉的轉化率，降低生產成本，設備運行所需溫度最低為0℃，其耗冷量大為降低，降低了設備投資，降低了能耗，降低了環境污染。

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